2025年9月5日,海创智能隆重举办新品发布会,正式发布六大类具有国际先进水平的高端半导体设备,涵盖晶圆级永久键合、磁控溅射镀膜、等离子干法刻蚀、离子束刻蚀、等离子增强化学气相沉积及涂胶显影等关键工艺环节。山东省半导体行业协会受邀出席本次活动,并参与同期SEMI半导体产业发展研讨会,与来自全国各地的行业专家、企业代表、投资机构及产业伙伴共话半导体装备国产化新路径。
本次发布会上,海创智能集中展示了其在高端半导体装备领域取得的突破性成果。多项设备在关键性能指标上实现国内首创,部分技术达到国际领先水平,标志着我国在高端半导体装备制造领域迈出了坚实一步。其中,国产晶圆键合设备凭借独创的高精度对准技术打破国际垄断;磁控溅射镀膜设备在氮化铝薄膜均匀性方面实现0.5%的新突破;离子束刻蚀设备更是国内唯一具备20年IBE经验并通过欧洲工业量产认证的设备,展现出强劲的技术积累与产业转化能力。
山东省半导体行业协会对海创智能在高端半导体装备国产化方面取得的成果表示高度肯定。协会认为,海创智能坚持自主创新、整合全球资源、突破关键技术的实践路径,为山东省乃至全国半导体产业链的完善与升级提供了有力支撑。此次发布的六大类设备不仅填补了国内空白,也为本土晶圆厂、IDM企业及科研机构提供了更多高质量、可信赖的国产设备选择。
在随后举行的半导体产业发展研讨会上,协会代表与海创智能及其他参会单位就“国产装备的技术突破与产业协同”“半导体设备本土化生态建设”等议题展开深入交流。协会表示,未来将继续发挥桥梁纽带作用,推动山东省半导体企业与国内领先设备厂商加强合作,共同构建开放、协同、可持续的半导体产业生态。